在傳感器行業(yè)中,測力傳感器、溫度傳感器、流量傳感器是應(yīng)用比較廣泛的三種傳感器,而其中任意一種傳感器的類型也有很多類型的傳感器。下面我們先來講一下測力傳感器中的其中一種傳感器:
壓力傳感器在測量中被稱為壓力,是物理學(xué)中反映物質(zhì)狀態(tài)的壓力的重要參數(shù)。在壓力測量中,有表面壓力、絕對壓力(絕對壓力)、負(fù)壓和真空度。工業(yè)中使用的壓力指示值大多是表面壓力,即絕對壓力與大氣壓力的差,因此絕對壓力是表面壓力和大氣壓力的總和。如果測量壓力低于大氣壓,則稱為負(fù)壓或真空度。
在工作原理上,測量壓力的傳感器分為壓阻壓力傳感器、壓電壓力傳感器、壓磁壓力傳感器、電容壓力傳感器、霍爾壓力計(jì)等。
壓阻壓力傳感器:半導(dǎo)體應(yīng)變片傳感器在實(shí)際應(yīng)用中被稱為壓阻壓力傳感器。壓阻壓力傳感器是由半導(dǎo)體應(yīng)變片粘貼在彈性體上制成的。20世紀(jì)70年代末,科學(xué)家開發(fā)了固定力敏電阻和硅膜集成的擴(kuò)散壓力傳感器,克服了粘貼滯后、蠕變、固有頻率低、集成困難的缺點(diǎn),將應(yīng)變電阻條、誤差補(bǔ)償、信號調(diào)節(jié)等電路集成在硅片上。
壓阻壓力傳感器的主要特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)尺寸小、重量輕、集成方便,靈敏度和分辨率高,適用于檢測小壓力。但由于它是由半導(dǎo)體硅材料制成的,對溫度敏感,如果不使用溫度補(bǔ)償,溫度誤差會很大。
由于壓阻壓力傳感器具有一系列優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于航天、航海、石化、醫(yī)療設(shè)備、氣象、軍事設(shè)備等領(lǐng)域。