電容式傳感器廣泛用于角度、位移、液位等參數(shù)的精確測量。電容式傳感器具有靈敏度高、精度高的優(yōu)點，但這些優(yōu)點都與傳感器的正確設(shè)計、正確選材和精細加工技術(shù)有關(guān)。然而，還應(yīng)注意以下影響電容式傳感器精度的因素。
1.溫度對結(jié)構(gòu)尺寸的影響。
環(huán)境溫度的變化會引起電容式傳感器各元件的設(shè)定尺寸和相互位置的變化，這將導(dǎo)致電容式傳感器的額外溫度誤差，特別是在檢測間隙變化的電容式傳感器中，因為其初始間隙非常小。
2.溫度對介電常數(shù)的影響。
電容傳感器的電容值與介質(zhì)的介電常數(shù)成正比。因此，對于介電常數(shù)溫度系數(shù)不為零的傳感器，溫度的變化必然會導(dǎo)致傳感器電容值的變化，從而造成額外的溫度誤差。
3.泄漏電阻的影響。
電容式傳感器的容性阻抗非常高，尤其是激勵頻率較低時。當兩極之間的總泄漏電阻與容抗相近時，必須考慮分流作用對整個系統(tǒng)總靈敏度的影響，這樣會降低傳感器的靈敏度。
4.邊緣效應(yīng)和寄生參數(shù)。
邊緣效應(yīng)使設(shè)計和計算變得復(fù)雜，產(chǎn)生非線性并降低傳感器的靈敏度。消除和還原的方法是在結(jié)構(gòu)上加一個保護電極，必須取與備用保護電極相同的電位，并盡量使其與地電位相同。
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