MEMS技術(shù)是MEMS技術(shù)與光學(xué)技術(shù)的融合，也稱為微光機(jī)電技術(shù)。MEMS在智能光通信設(shè)備、MEMS激光元件、MEMS光顯示、MEMS光傳感器、MEMS傳感器、MEMS攝像頭等應(yīng)用領(lǐng)域具有不可替代性，市場前景廣闊，有望達(dá)到100億美元的市場規(guī)模。
MEMS的市場規(guī)模也在擴(kuò)大，未來的市場空間也在擴(kuò)大。電子愛好者梳理了目前市場上主要的光學(xué)MEMS傳感器，包括ADI、高德紅外、艾瑞光電、漢威等幾家知名市場龍頭企業(yè)。有一模塊包括高效光度學(xué)前端、發(fā)光二極管(LED)和光電二極管(PD)。將LED密封在定制封裝中，防止LED發(fā)出的光線直接照射到進(jìn)入煙霧檢測腔前的光電二極管上。ASIC的前端包括一個(gè)控制模塊、一個(gè)14位模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC)和三個(gè)可獨(dú)立控制的柔性LED驅(qū)動(dòng)單元。該控制電路包括柔性LED信號(hào)傳輸和同步檢測功能。模擬前端(AFE)可以抑制調(diào)制干擾引起的信號(hào)失衡和破壞(通常是環(huán)境光)的一流特性。數(shù)據(jù)輸出和功能配置通過1.8VI2C接口或串行外部接口(SPI)端口實(shí)現(xiàn)。ADPD是一種用于測量入射紅外光角的光學(xué)傳感器。根據(jù)ADPD2140響應(yīng)計(jì)算，±35°角視場的光角線性度為±5°。輻射敏感區(qū)為0.31mm2，ADPD2140。ADPD2140具有低結(jié)電容和低暗電流，可實(shí)現(xiàn)ADPD1080光學(xué)前端的集成。ADPD2140采用2mm×3mm8針腳透明模LFCSP包裝，可在40℃至+85℃的工作溫度范圍內(nèi)工作。
用戶手勢控制、物體位置跟蹤、工業(yè)/自動(dòng)監(jiān)控角度感應(yīng)、接近感應(yīng)、物體距離測量(三角測量)等。ADPDRI是一個(gè)高度集成的光學(xué)前端。經(jīng)過優(yōu)化，可以同步檢測紅光和紅外波長，檢測血氧飽和度(PPG)的光學(xué)體積描述(PPG)。同時(shí)，測量可以消除DC和交流環(huán)境中的光干擾，降低功耗。采用高效發(fā)光二極管(LED)發(fā)射器和靈敏的4通道深擴(kuò)散光電二極管(PD1-PD4)與定制應(yīng)用專用集成電路(ASIC)相結(jié)合，為集成LED發(fā)射器和探測光電二極管之間提供光學(xué)隔離，提高穿透組織的信噪比(SNR)。ASIC包括一個(gè)4通道模擬前端(AFE)(有兩個(gè)獨(dú)立的數(shù)據(jù)路徑，每個(gè)都有不同的增益和濾波器設(shè)置)，一個(gè)帶脈沖蓄能器的14位ADC(ADC)，兩個(gè)可以獨(dú)立配置的柔性LED驅(qū)動(dòng)器和一個(gè)數(shù)字控制塊。數(shù)字控制模塊提供AFE和LED時(shí)序、信號(hào)處理和通信。數(shù)據(jù)輸出和功能配置是通過1.8VI2C接口實(shí)現(xiàn)的。調(diào)節(jié)發(fā)光二極管，測量回光信號(hào)。數(shù)字引擎包括電路和數(shù)據(jù)聚合和近距離探測控制。數(shù)據(jù)輸出和設(shè)備配置采用1.8VI2C接口。采用柔性發(fā)光二極管寬度控制、周期發(fā)生和同步檢測。配套產(chǎn)品包括：低噪音，低功耗，寬動(dòng)態(tài)范圍可配置模擬前端(AFE)，以及具有定位和智能采樣模式的數(shù)字邏輯器件，LED驅(qū)動(dòng)器和數(shù)字邏輯器件(事件驅(qū)動(dòng)型x，y坐標(biāo)，相對z數(shù)據(jù))。這種全AFE具有環(huán)境光抑制性能，可以避免外界干擾造成的破壞。本產(chǎn)品要求配置便宜的標(biāo)準(zhǔn)貼紙、寬角或窄角IRLED(根據(jù)應(yīng)用)。該LED安裝在ADUX1020的外部。ADUX1020采用2mm×3mm小的8針LFCSP透明封裝，額定工作溫度范圍在-40℃至+85℃之間。用戶界面(UI)控制手勢，工業(yè)/自動(dòng)監(jiān)控，存在檢測，角度檢測，應(yīng)用于便攜設(shè)備。由于其強(qiáng)大的光學(xué)開發(fā)能力和資源整合，歌爾歌爾提供了應(yīng)用于微投影、觸摸投影和AR的MEMS激光掃描模塊，并應(yīng)用于手勢識(shí)別、3D建模、AR\VR等景深模塊。高德紅外PLUG417SPLUG417S是專門為人體溫度測量開發(fā)的核心組件產(chǎn)品。PLUG417S通過50pin接口或USB3.0端口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)胶蠖似脚_(tái)進(jìn)行集成，依靠SDK開發(fā)包輔助后端實(shí)現(xiàn)溫度數(shù)據(jù)、圖像顯示等功能。基于PLUG417S的用戶可以快速開發(fā)集成的紅外體溫篩查系統(tǒng)。PLUG417S測溫精度高，測溫誤差≤0.5，可實(shí)現(xiàn)5米遠(yuǎn)的溫度測量，采用USB3.0接口實(shí)現(xiàn)供電+數(shù)據(jù)傳輸+控制三大功能，最后預(yù)設(shè)密封圈，可實(shí)現(xiàn)5米遠(yuǎn)的溫度測量和數(shù)據(jù)傳輸+控制三大功能。漢威WS20PWS20PPM2.5激光傳感器利用激光探測原理實(shí)現(xiàn)粒徑的準(zhǔn)確分辨和計(jì)數(shù)，即通過測量粒子對激光散射光的強(qiáng)度分布和變化，利用自主開發(fā)的專業(yè)算法準(zhǔn)確采集粒子，將其分辨計(jì)數(shù)轉(zhuǎn)化為質(zhì)量數(shù)，通過數(shù)據(jù)接口輸出。獨(dú)特的氣液力學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，防止感光元件附著在顆粒上，用算法補(bǔ)償少量附著顆粒，保證高精度、長壽命；傳感器體積小，測量范圍寬(0-1萬微克/立方米)，粒徑分辨率強(qiáng)(最小0.3微米)，使用壽命可達(dá)3萬小時(shí)。主要用途:家用(車載、便攜式)空氣檢測儀、空氣凈化器等艾瑞光電S121艾瑞光電等最小像元核心系列，匯集了艾瑞光電最小紅外技術(shù)。S121具有突破性的1280×1024探測器，是艾瑞光電迄今為止最大面陣+最小像元探測器，輸出信號(hào)為14-bit數(shù)字輸出，工作溫度范圍為-40℃~+85℃Micro640P采用氧化釩非制冷紅外焦平面探測器，輸出信號(hào)為14-bit數(shù)字輸出。提供4~6VDC電源，工作溫度范圍為-40℃~+80℃，儲(chǔ)存溫度范圍為-45℃~+85℃。主要用于夜視頭盔和輕型無人機(jī)。T2LInfiRay全新一代紅外測溫手機(jī)T2L成像效果極佳，紅外測溫體驗(yàn)方便，機(jī)身小巧輕便。相應(yīng)地，12μm象元間隔、8~14μm響應(yīng)波段、10℃~+50℃的工作溫度范圍為-10℃~+50℃，相應(yīng)地，我國MEMS產(chǎn)業(yè)起步較晚，企業(yè)規(guī)模較小。
近年來，國內(nèi)廠商不遺余力地追趕國外企業(yè)，利用智能傳感器產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型的機(jī)遇，積極布局MEMS產(chǎn)業(yè)鏈，不斷提高設(shè)計(jì)、制造和封裝測試的競爭力，在光學(xué)等領(lǐng)域建立了全球競爭力，并不斷向其他領(lǐng)域拓展和延伸。
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